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闕端麟——為半導體材料研究和九三學社事業奮斗一生的中科院院士


闕端麟,1928年5月生在福建福州。九三學社社員,教授,著名半導體材料學家,中國科學院院士。歷任浙江大學電機系實驗室主任、無線電系半導體材料與器件教研室副主任、材料科學與工程系副主任、半導體材料研究室主任、半導體材料研究所所長、浙江大學副校長、校務委員會副主任。曾任第六屆全國政協委員,第七屆全國人大代表;政協浙江省第四屆委員會委員,第七、八屆委員會副主席。九三學社第八屆中央委員會委員,第九、十屆中央委員會常委;九三學社浙江省第一、二屆委員會副主委,第三、四屆委員會主委,第五屆委員會名譽主委。曾兼任浙江省自然科學基金委員會副主任、浙江省學位委員會副主任和浙江省人民政府經濟建設咨詢委員會委員,國務院學位委員會第二、三、四屆非金屬材料學科評審組組長,國家科委發明委員會特邀評審員,國家自然科學基金委員會半導體學科評審組組長,浙江省科協第六、七屆主席等職。2014年12月在杭州逝世。

半個多世紀間,闕端麟為我國半導體材料研究與生產轉化,為多黨合作事業特別是九三學社事業傾注了大量心血,作出了重要貢獻。

從半導體材料研究的先行者到中科院院士

1928年5月,闕端麟出生在福建福州,23歲從廈門大學畢業后留校任教。1953年院系調整,從此,他成為浙江大學的一名教學科研工作者。在浙大,他先后擔任過電機系實驗室主任、無線電系半導體材料與器件教研室副主任、材料科學與工程學系半導體材料研究室主任、材料系副主任、半導體材料研究所所長,后來還當過副校長、校務委員會副主任。作為電機系的一名教師,他一開始的研究方向并不是半導體。當時,他為學生開設了一門新課——電工材料,其中包含半導體相關內容。在教學研究過程中,他發現半導體材料是一個新的科研發展方向,從此與半導體材料研究結緣。

1957年,“發展半導體事業”被列入新中國第一個十二年科學發展規劃,包括浙大在內的不少高校開始創辦半導體材料方面的專業。闕端麟作為浙大半導體材料與器件專業的創始人和骨干教師之一,先后為本科生、研究生開設過十多門課程,其中多門課程是在沒有教科書,甚至沒有系統參考書的情況下,由他首先收集資料開設的。由于基礎扎實、知識面寬、根底深厚,他講課總是能深入淺出,語言精練而生動,頗得學生好評。他注意理論聯系實際,在教學過程中一貫重視培養學生的實踐和實驗能力。在他的嚴格訓練下,很多學生具備了較強的科研實驗能力,后來成長為各單位的業務骨干和領導。他非常重視培養、提攜年輕人,一些重要的科研成果取得初步成功后,就及時吸收年輕人一起參加研究改進工作,甚至讓他們在成果技術鑒定會上作研制報告。

闕端麟是我國自己培養的專家,他深信在中國的土地上能夠做出自己的貢獻。幾十年的攀登拼搏,換來了一項又一項成果、發明,為中國人爭了光。在科研道路上闖過了坎坎坷坷的闕端麟深深體會到,自力更生精神在科技工作中的體現,不僅僅是艱苦奮斗,它更深刻的含義在于利用中國現有條件,去爭取高水平的成果。他對前人的經驗和結論并不盲從,而是獨立思考,批判地吸收,從而有所發現、有所創造、有所前進。

1954年,闕端麟開始著手研究溫差電半導體材料,并制成了我國第一臺溫差發電機。半導體材料當中,硅材料是產量最大、用途最廣的一種。但當時,國內硅材料研發面臨技術瓶頸。1959年,闕端麟開始探索提純硅烷及制備高純硅技術。由于經費有限,當時很多實驗儀器只能自己動手做,闕端麟自己就吹制過玻璃制品等零件。為了防止實驗中發生爆炸傷人,他用鐵絲網把實驗設備罩起來。面對資金緊張、設備簡陋、硅烷容易爆炸等重重困難,他和課題組一步步改進實驗方法,終于在1964年實驗室取得高純硅單晶。隨后在浙江大學組成了擴大的研究課題組,于1970年完成了高純硅烷及多晶硅生產的成套技術研究。這項技術工藝簡單,流程短,易于保證高純度,成為我國生產高純硅烷的主要方法。1968年,他首次為國內提供了電子工業急需的純硅烷氣體。

闕端麟所在的課題組通過參加國家“六五”、“七五”重點科技攻關,在高純硅和硅烷等高純技術上處于國內領先地位,并接近或達到國際先進水平。 為配合國家“六五”科技攻關,他又研制了硅單晶導電型號儀、紅外光源硅單晶少子壽命儀,指導研制了硅單晶電阻率測試儀,形成了高純硅的成套技術,并且使硅單晶的常規測試技術和測試儀器的性能指標達到世界先進水平。20世紀80年代是闕端麟在科研上豐收的時期,除高純硅和測試技術、測試儀器外,還在硅晶體生長技術方面取得了實質性進展,“氮保護氣氛直拉硅單晶”的研究成功,打破了國外同行專家“不可能采用氮氣做保護氣氛拉制硅單晶”的結論,取得了6項發明專利,經濟效益和社會效益十分顯著。“減壓充氮直拉硅單晶技術”被《科技日報》評選為我國1987年10項重大科技成果之一,1988年該成果又在布魯塞爾舉行的第37屆尤里卡世界發明博覽會上獲金牌獎;1989年獲國家發明獎二等獎。

闕端麟在研究工作中有兩個特色:一是在選題上有自己獨到的見解;二是他一貫重視科研與生產的緊密結合,將科研成果轉化為生產力。他在確定研究方向和選題時所遵從的原則是:既要尋找有發展前途的高水平課題,又要照顧到本單位乃至我國所具備的實際條件,量力而行。20世紀70年代,他經過深思熟慮,由研究溫差電材料,轉而選擇了量大面廣、性能優良的硅材料作為研究方向,邁出了關鍵的一步;30多年后,他在浙大建成了以高純硅材料為特色的國家重點實驗室。他認為,科學研究不能“人云亦云”、“湊熱鬧”,搞低水平的重復。在了解和研究前人及同時代人工作的基礎上,必須要有自己的思想和獨特的技術思路,才會有所建樹。這些思想促使他選題方向正確,且富有創造性,往往取得顯著成果。

闕端麟不僅重視科研與生產相結合,而且積極主張努力發展校辦產業,他的多項成果一經鑒定就直接轉入浙江大學半導體廠生產,工廠所創造的經濟效益又用來支持學科和實驗室建設,形成了生產與學科建設緊密結合的思路。在此思路的指導下,半導體廠發展很快,1995年國務院發展研究中心授予半導體廠“中華之最”榮譽稱號。

在建設浙江大學半導體材料學科過程中,闕端麟帶領一班人四處奔波。作為高純硅國家重點實驗室學術帶頭人、浙江大學半導體材料專業創始人,他苦心經營,把幾個人的科研小組發展成集教學、科研、生產于一體的近百人的集體,建立了一支老中青相結合的學術梯隊,創立了擁有數億元固定資產的基地,為學科發展奠定了堅實的基礎。浙江大學半導體材料學科是國務院學位委員會批準的第一批碩士學位授予點和第一個半導體材料工學博士學位授予點,1988年又被評定、批準為國家教委重點學科。1985年國家計委批準在浙江大學建設高純硅國家重點實驗室,1987年建成并對外開放。它具備了較好的從事半導體材料和半導體器件教學、研究的條件,已成為培養高質量人才、出高水平成果的基地。

闕端麟學識淵博,誨人不倦,平易近人,師德高尚,他愛黨愛國,刻苦攻關,碩果累累。1956年,他被評為浙江大學先進工作者,1983年被評為浙江省五講四美為人師表優秀教師,1986年被評為國家級有突出貢獻的中青年專家,1988年獲浙江省勞動模范稱號,1990年被評為全國高等學校先進科技工作者,同年獲全國“五一”勞動獎章。1991年,闕端麟當選為中科院院士。

擔任九三學社省委會主委,為浙江發展殫精竭慮

1984年,闕端麟加入九三學社。1992年他當選為九三學社浙江省第三屆委員會主委,后來又連任第四屆主委。作為參政黨地方組織負責人,如何提高九三學社社員們的參政議政水平,更好地為浙江省經濟發展服務,始終是懸在他心頭的重要問題。 經過反復思考和與九三學社同仁商討后,他決定選擇一批與全省經濟建設有密切關系的課題,并做深入的調查研究,將高質量的調研報告提供給浙江省委、省政府作決策參考。浙江地處東南沿海,氣象災害頻繁,他提議由九三學社省委會委托社內氣象災害專家著手研究。經過數月的認真調研,終于完成了這一課題,并以此為基礎形成團體提案。在浙江省政協七屆二次全會上,九三學社省委會作了題為《強化減災意識,加強科學研究》的大會發言,呼吁加強對全省自然災害預防的資金投入和科學研究。這個提案受到浙江省政府有關部門的重視,并被評為1994年度省政協優秀提案。

“三農”問題是闕端麟長期思考的一個問題。1995年,他提議九三學社省委會應配合浙江省委、省政府對我省農業問題進行調研,研究農業產業化問題。在闕端麟第一任主委期間,九三學社省委會調研組先后五次深入蕭山、寧波、湖州和鄞縣、安吉等地,對農業產業化進行調研。同時,發動9個省轄市及3個縣級市的九三學社組織對這一問題同步進行調查研究,又召集農業專家進行研討,最后形成了《關于我省農業產業化問題的調查報告》,上報浙江省委。《報告》就我省農業產業化的成績、存在的主要問題作了較詳細的分析,并提出了對我省農業產業化的幾點意見和建議,受到高度重視。時任浙江省委書記李澤民作了重要批示:“九三學社浙江省委會關于我省農業產業化問題的調查,內容翔實,建議大體可行。農業產業化問題符合黨的五中全會提出的實施兩個根本性轉變的要求,也符合我省實際,這方面我們已有一定基礎和成功經驗,調查報告的意見和建議,請錫榮同志和省農村工作辦公室、農業廳認真研究并采納。”

2001年,九三學社省委會根據一名社員的建議,組織力量研究論證,最終形成提案《修建錢塘江過江隧道迫在眉睫》,得到時任浙江省省長柴松岳的批示:“文章中闡述的理由充分,建議中肯。”時任浙江省副省長盧文舸將該材料批轉給杭州市政府,修建錢塘江過江隧道被納入杭州市城市總體規劃。2010年12月27日,被譽為“錢江第一隧”的杭州市慶春路過江隧道實現通車,錢塘江結束無隧道的歷史,形成了江上架橋、江面行船、江底通隧的立體交通格局。

為了促進杭州高新技術開發區的建設,闕端麟還帶隊去蘇魯皖三省對國家級高新技術開發區作專題考察。他多次就我省高新技術企業的興起與機電產品出口問題、如何加強國有企業的制度建設與監督、人才培養、自然科學基金等問題向浙江省委、省政府領導坦陳進言。

闕端麟擔任主委期間,九三學社省委會與四川廣元的“九廣合作”影響較大。四川邊遠地區希望他們能夠提供幫助,他們經商討后,與娃哈哈集團公司聯系,雙方一拍即合,娃哈哈隨即到廣元設廠,做成了這件事。他們還促成了杭州正大青春寶藥業在廣元設廠、義烏小商品城在廣元建設分市場,這些項目在廣元當地都得到了很好的效益和反響。

在平時,闕端麟經常思考如何用好九三學社專家們的專業優勢服務社會。從1997年起,九三學社省委會組織了社內專家學者組成教授育英團,到中學傳播科學知識,弘揚科學精神。如2001年4月,他去杭州學軍中學作了題為《近現代科技體系發展的思考》的報告。在他看來,九三學社社員在科學技術上多有發明創造,各種科技獎項也經常為九三學社社員所獲得,這是一個優勢。九三學社組織要多發展學術上有所作為的同志,多關心這些同志,把各種人才吸收進來,進一步把這個優勢發揮好。

通過闕端麟和各方面的共同努力,九三學社浙江省委會的工作得到了浙江省委、省政府、省政協的重視,得到了九三學社中央的充分肯定。那十年,他身兼多職,非常忙,經常有多項工作要同時處理,但他始終盡可能抽出更多時間和精力放在九三學社事業的發展上。

2014年12月17日15時,闕端麟因病醫治無效在杭州逝世,享年87歲。半個多世紀間,闕端麟為我國半導體材料研究與生產轉化,為多黨合作事業特別是九三學社事業傾注了大量心血,作出了重要貢獻。他的一生,是為半導體材料研究和九三學社事業奮斗的一生。

(趙威根據資料整理 )

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